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鋁鈧靶主要用于半導體行業(yè)集成電路和微型電機器件鍍膜。

元素符號:AlSc
合金成分:Al 9.6at%Sc; Al 20at%Sc; Al 30at%Sc
其它成分可定制
純度:3N5+
形狀:平面靶
外觀:銀白色、灰色,隨合金成分不同而變化
典型密度:>2.92g/cm3
常規(guī)尺寸:Φ332mm
其它尺寸可定制
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