鈷鉭鋯靶材主要用于半導(dǎo)體集成電路和微電感器。
| 元素符號(hào) | : | CoTaZr |
| 合金成分 | : | Co4.5Ta4Zr 其它成分可定制 |
| 純度 | : | 3N5+ |
| 形狀 | : | 平面靶 |
| 外觀 | : | 銀灰色 |
| 典型密度 | : | 8.68g/cm3 |
| 常規(guī)尺寸 | : | 方形: 600mm*130mm*12mm 圓形: Φ440mm 其它尺寸可定制 |
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